液中プラズマ法によるナノ粒子の製造(1/1)

担当

工業技術部

成果

液中プラズマ法により分散性や粒度分布に優れたナノ粒子の製造技術の開発を行った。出発原料溶液や放電条件などを変化させて合成を試みた結果、アルミニウム化合物のナノ粒子を合成することができた。これらのナノ粒子は、凝集することなく、均一に分散していた。粒度分布も極めてシャープで、平均粒径はプラズマ処理時間により増大し、約5nmから10nm程度まで変化した。さらに、電極間距離により放電状態が変化し、それに伴い電極間のパルス電圧―電流特性やプラズマ発光スペクトルに顕著な変化が生ずることなどが明らかになった。

［愛知ナノテクものづくりクラスター成果活用促進事業］