微小部蛍光X線分析装置

仕様

出力：50kV、600μA、X線菅球：Rh、スポットサイズ：約20μm、約170μm、検出器数：2、測定範囲：C～Am、測定雰囲気：大気、真空、He置換、装置に入る試料の大きさ：ステージ上で幅330mm×奥行170mm×高さ約100mm（重量7kg以下）

概要

約20μmまたは約170μmのX線を試料上面に照射し、試料から放出された特性X線を測定することで、試料に含まれる元素（炭素から）の点分析・ライン分析・マッピング等を行う。CCDカメラ（倍率：×5、×100）で試料上面を観察して測定領域を指定できる。装置に入る試料の大きさは、ステージ上で幅330mm×奥行170mm×高さ約100mmであり、大きな試料をそのままで、元素分析が可能である。

設置機関

あいち産業科学技術総合センター　技術支援部　計測分析室

測定事例

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試験・分析材料

金属、セラミックス、複合材料、プラスチック、高分子、繊維

試験・分析内容

表面分析、定量・定性分析、元素分析、成分分析

お問い合わせ先

あいち産業科学技術総合センター　技術支援部　計測分析室
電話：0561-76-8315