電界放出型走査電子顕微鏡
試験研究機器検索
電界放出型走査電子顕微鏡
| 装置名 | 電界放出型走査電子顕微鏡 |
|---|---|
| メーカー名 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ |
| 形式 | SU-70 |
| 導入年度 | 2011年度 |
| 貸付料 | － |
| 依頼試験手数料 | 観察：28,100円～／1測定 （組成分析・化学状態を行った場合は、観察料金に加えて別途15,400円／1測定） （2019年10月1日以降） |
仕様
加速電圧：0.1～30kV（リターディングモード付属）二次電子分解能：1.0nm（加速電圧15kV、WD=4mm）、1.6nm（加速電圧1kV、WD=1.5mm、リターディングモード時）
倍率：×25～×800,000
観察：二次電子像、反射電子像、透過電子像（明視野・暗視野）
分析：エネルギー分散型Ｘ線分析（OXFORD AZtec Energy Advanced X-Max50）、波長分散型Ｘ線分析（OXFORD INCA WAVE500）、結晶方位解析（OXFORD AZtec HKL Nordlys-Max） アクティブ除振台、アクティブ磁場キャンセラー装備
概要
高分解能で材料表面・断面の微細構造観察ができます。リターディングモードにより、ごく表面情報の取得や電子ビームのダメージを受けやすい有機材料等の低加速電圧観察ができます。
高分子材料など比較的軽い元素で構成される材料の透過電子観察ができます。
EDX・WDX同時搭載により、微量元素の検出から高分解能での分析まで、幅広い元素分析が可能です。
フィールドフリーモード（アウトレンズモード）によるEBSDにより、金属、セラミックなどの結晶方位解析ができます。
設置機関
あいち産業科学技術総合センター 技術支援部 計測分析室測定事例
－試験・分析材料
金属 有機物 複合材料 プラスチック 繊維 高分子 セラミックス試験・分析内容
構造解析 表面分析 定量・定性分析 顕微鏡観察お問い合わせ先
あいち産業科学技術総合センター 技術支援部 計測分析室電話：0561-76-8315
