電子プローブマイクロ分析装置【平成22年度先端技術実証・評価設備整備費等補助金】
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電子プローブマイクロ分析装置【平成22年度先端技術実証・評価設備整備費等補助金】
| 装置名 | 電子プローブマイクロ分析装置【平成22年度先端技術実証・評価設備整備費等補助金】 |
|---|---|
| メーカー名 | （株）島津製作所 |
| 形式 | EPMA-1720H |
| 導入年度 | 2011年度 |
| 貸付料 | － |
| 依頼試験手数料 | 28,100円／1測定 （2019年10月1日以降） |
仕様
・加速電圧：0.1～30kV（ＣｅＢ6カソード）・照射電流：１ｐＡ～１μＡ
・波長分散型Ｘ線分光器（WDS）：最大同時４元素（分析元素範囲：B～U）
・エネルギー分散型Ｘ線分光器（ＥＤＳ）：WDSと併用可能（分析元素範囲：B～U）
・トランスファーベッセル付属
概要
電子線を試料に当てた際に放出される特性Ｘ線を分光し、強度を測定することによって、微小な領域の元素組成や分布を求めることができる装置である。ここで用いる波長分散型Ｘ線分光器（ＷＤＳ）はエネルギー分散型Ｘ線分光器（ＥＤＳ）と比較して分解能が高く、感度が良い点が特徴である。※平成22年度先端技術実証・評価設備整備等補助金による整備機器（科学技術交流財団との共同事業）。
設置機関
あいち産業科学技術総合センター 技術支援部 計測分析室測定事例
－試験・分析材料
金属、セラミックス、複合材料試験・分析内容
定量・定性分析、顕微鏡観察お問い合わせ先
あいち産業科学技術総合センター 技術支援部 計測分析室電話：0561-76-8315
